电子行业洁净厂房设计及施工要求
电子厂净化车间或电子实验室的半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、模具等工程。光学微电子净化工程又称清净室或无尘室,目前已是精密制造、半导体、光学制造、液晶制造、线路板制造和医药、生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,因技术的创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化的需求越发迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。
无论是电子净化车间,光学车间、生物制药还是食品化妆品、食品净化车间,都要根据实际需求采用符合其生产要求的设计方案施工,其工作流程介绍如下
一、净化原理
气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程,即可达到净化车间目的。
二、物流
1.工厂装修物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
2.洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
三、人流
1.人员净化
2.工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室。
3.空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。
4.空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施。
5.单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门。
四、静压差
1.不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。
2.工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。
3.洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
五、通用结构材料
1.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
2.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
3.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
4.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。