电子无尘间洁净室介绍
电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、有害菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、装配制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品高精度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展较为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于较高地位。
一、电子净化工程一般包括:
1、 洁净生产区
2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
二、物流
1.工厂装修物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
2.洁净室内的设备和物料出入口,应单独设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
三、人流
1.人员净化
2.工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室。
3.空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。
4.空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施。
5.单人空气吹淋室,应按人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门。
四、静压差
1.不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。
2.工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。
3.洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
五、净化参数:
1.压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s。
2.湿度百分之45-65;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65(A);新风补充量是总送风量的百分之10-30;照度300LX。
3.换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。
4.温度冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
六、结构材料:
1.地坪:可采用2mm/3mm环氧树脂或是PVC地坪,电子厂房选用防静电地坪。
2.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
3.工厂装修净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。
4.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。